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凈化車間的高精三恒系統(tǒng)控制措施
來(lái)源:m.szcmcc.com 發(fā)布時(shí)間:2019年07月29日

我的介紹。

高精度恒溫恒濕空調(diào)技術(shù)相對(duì)成熟,但對(duì)高水平的無(wú)塵車間來(lái)說(shuō)是一個(gè)缺乏實(shí)踐和經(jīng)驗(yàn)的課題。由于需要保持較高的潔凈度,通風(fēng)比常規(guī)空調(diào)房間大得多,使得潔凈室的高精度恒溫恒濕控制具有獨(dú)特之處。

為了滿足高水平、高精度的技術(shù)指標(biāo),保持良好的系統(tǒng)調(diào)整質(zhì)量,還需要考慮降低初始投資和日常運(yùn)營(yíng)費(fèi)用等經(jīng)濟(jì)因素,使設(shè)計(jì)更加困難。本文以實(shí)際工程為例,從設(shè)計(jì)、安裝、調(diào)試的全過(guò)程,介紹了綜合解決上述問(wèn)題所采取的相應(yīng)措施和解決方案,以及最終的實(shí)際效果。

2. 高精度恒溫恒濕無(wú)塵車間的技術(shù)要求及設(shè)計(jì)方案

電子部某研究所恒溫恒濕潔凈室主要技術(shù)指標(biāo)(圖1)如下:

清潔水平:美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS-209EM3.5(即習(xí)慣水平為100)

潔凈室有效空間:2.5m (L)×2.0m (W)×2.5m (H)

室內(nèi)溫度:21±0.1℃

室內(nèi)濕度:Υ55±5%

套間參數(shù):潔凈度為美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS-209E M6.5級(jí)(即定制的10萬(wàn)英寸級(jí)),溫度為25±2℃

由于建筑條件的限制,考慮潔凈室的氣流組織方案只能采用水平平行流動(dòng)方式。由于氣流方向尺寸較小,截面風(fēng)速設(shè)計(jì)速度為0.28m/s,略低于常規(guī)值和換風(fēng)量。已高達(dá)400AC/h空氣供給墻上覆蓋著一個(gè)高效空氣過(guò)濾器,和對(duì)面墻上是一個(gè)風(fēng)格格柵(如圖1)。滿足所需的空氣供給和通風(fēng)時(shí)間恒定的溫度和濕度精度遠(yuǎn)低于所需的通風(fēng)凈化水平。因此,不可避免地要采用二次回風(fēng)方案。

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